Спектральный эллипсометр Horiab Auto SE
Производитель: Horiba, Япония
Год выпуска: 2012
Назначение: Метод спектральной эллипсометрии позволяет быстро измерять значения толщин и оптических характеристик (n, k и др.) пленок, а также проводить анализ равномерности слоев по образцу (пластине). Используется оптимизационный метод решения обратной задачи эллипсометрии. Прибор позволяет получать информацию об оптических характеристиках и толщинах пленок, пропускающих излучение в диапазоне от 440 до 848 нм, в том числе тонких металлических пленок до ~ 50 нм толщиной.

Технические характеристики: Технические характеристики: диапазон длин волн 440-848 нм; оптимальный размер области измерения 70×250 мкм и более; фиксированный угол падения 70°; точность определения показателя преломления n ~ 0,002.

Методики
  • Определение толщин пленок;
  • Определение оптических характеристик (n, k и др.), в том числе зависимости оптических характеристик от длины волны;
  • Построение карт распределения толщин и оптических характеристик (n, k и др.) пленок;
  • Оценка статистических параметров: среднего значения величин, σ, построение гистограмм распределения и др.
  • Определение коэффициента отражения;
  • Исследование пленок с изменяющимися с течением времени характеристиками;
  • Исследование многослойных образцов.

Типовые работы
  • регистрация биологических объектов (изм.; 1500 руб./изм.)
  • Определение толщин тонких пленок, определение оптических характеристик, в том числе их зависимостей от длины волны, определение (изм.; 2000 руб./изм).
  • Построение карт распределения толщин и оптических характеристик (изм; 3500 руб./изм).
  • Оценка статистических параметров: среднего значения величин, σ, построение гистограмм распределения и др. (изм.; 2500 руб./изм.).
  • Определение коэффициента отражения (изм.; 1500 руб./изм.).
  • Исследование пленок с изменяющимися с течением времени характеристиками; исследование многослойных образцов (изм.; 3500 руб./изм.).