Технические характеристики:

1) Установка для напыления токопроводящих слоев JFC-1600

• Тип напыления: Магнетронный
• Рабочее давление - Не более 20 Pa
• Ионный ток - Предустановленные значения 10, 20, 30, 40 mA
• Мишень Pt (стандарт), диаметром 57 мм
• Столик для образцов диаметром 64мм
• Вакуумная камера - габаритные размеры: 120мм (диаметр)х 100мм (высота), стеклянный колпак

2) Установка для нанесения покрытия из углеродного распыления Jeol JEC-560

Функции: Подготовка образцов для исследования на электронном и зондовом микроскопах.
Методика: магнетронное напыление.
Перечень работ: напыление тонких углеродных и платиновых покрытий для подготовки образцов.
Ответственное лицо: Гойхман Александр Юрьевич. Email: AGoikhman@kantiana.ru
Инв. 40000859