Оже-микроанализатор
Модель: JAMP-9500F
Производитель: JEOL, Япония
Год выпуска: 2008
Основные возможности:
  • 3 нм - разрешение во вторичных электронах;
  • 8 нм - диаметр зонда для Оже-анализа;
  • от 0,05% до 0,6% энергетическое разрешение;
  • химический анализ состояния в нескольких областях с разрешением ~10 нм;
  • Оже-анализ непроводящих материалов с использованием режима нейтрализации заряда;
  • озможность исследования образцов до 95 мм в диаметре.
Ответственное лицо: Гойхман Александр Юрьевич, Email: AGoikhman@kantiana.ru

Инв. П340003253.61537.4а

Методика: энергодисперсионный рентгеноспектральный анализ.

Перечень работ:
• Численный и качественный анализ химического состава на поверхности и в объеме;
• Исследования адсорбции, десорбции, поверхностной сегрегации;
• Оже-электронное картрирование;
• Исследования атомных концентраций.
Технические характеристики
Разрешение во вторичных электронах 3 нм (при 25 кВ, 10 пА)
Диаметр зонда для Оже-микроанализа 8 нм (при 25 кВ, 1 нА)
Тип электронной пушки термрополевой катод Шоттки
Энергия электронного зонда от 0,5 до 30 кэВ
Ток зонда от 10 пА до 0,2 мкА
Увеличение от 25 до 500 000 крат Оже-спектрометр полусферический электростатический анализатор
Разрешение по энергии Оже-спектрометра от 0,05 до 0,6 %
Чувствительность Оже-спектрометра 840 000 имп/7 каналов*сек
Система детектирования Оже-спектрометра многоканальный детектор
Ускоряющее напряжение ионной пушки от 0,01 до 4 кВ
Ионный ток 2 мкА или более при 3 кВ и 0,03 мкА или более при 0,01 кВ
Функция нейтрализации поверхностного заряда на образце встроена
Диапазон перемещения столика образцов X: +/-10 мм,Y: +/-10 мм, Z: +/-6 мм, наклон: от 0 до 90 градусов, поворот: 360 градусов
Размер образца 20 мм диаметр, 5 мм толщина
Предельное давление в камере образцов 5х10-8 Па или менее
Отжиг колонны система отжига встроена, отжиг автоматический
Изображения спектры, профилирование по глубине, линейные профили, картирование в Оже-электронах, изображение во вторичных электронах
Функции
Предназначен для исследования внутренней структуры наноструктурированных материалов и многослойных покрытий. Наряду с качественным анализом поверхности предоставляет также информацию о количественном составе поверхности, исходя из интенсивности Оже-пиков. Позволяет анализировать химический состав поверхности и приповерхностных слоев, а в сочетании с ионным травлением – получать профили элементного и химического состава тонкопленочных образцов. Применим как для исследования материалов с объемной кристаллической структурой, так и для поликристаллических и аморфных материалов. Важным требованием к исследуемым материалам является совместимость с условиями высокого вакуума.

Оже-микроанализаторы с термополевой электронной пушкой обеспечивают получение информации о химсоставе образцов из малого информационного объёма, что определяет их высокие показатели по пространственному разрешению. Преимущество Оже-электронных микроанализаторов заключается в возможности исследования одномерных нанообъектов, а именно тонких (вплоть до одного монослоя) пленок, а также весьма высокая локальность анализа в латеральном направлении.