Стенд для измерения электрофизических параметров тонких пленок
Модель: Cascade microtech
Производитель: Cascade microtech, США
Год выпуска: 2015
Технические характеристики:

Основание стенда с ручным управлением:

Максимальный размер пластины для измерений, мм 150
Диапазон перемещения (по осям Х и Y), мм 155 х 155
Разрешение вдоль перемещения, мкм 5
Ход держателя для выгрузки пластин, мм 90
Диапазон регулировки высоты держателя по оси Z, мм 10
Ход держателя для проведения контакта по оси Z, мм 3
Точная регулировка угла поворота держателя пластин в диапазоне, ° ± 8

Столик (держатель пластин)
Максимальный размер пластины для измерений, мм 150
Тип держателя Триаксиальный П
ереключение зон удержания пластин диаметрами, мкм 50, 100 и 150
Плоскостность, мкм ±5
Три дополнительных площадки для размещения калибровочных субстратов Наличие Триаксиальный разъем подключения с комплектом соединительных кабелей Наличие

Микроскоп
Рабочая дистанция (зависит от объектива), мм 34
Объектив в комплекте 5Х
Увеличение микроскопа В диапазоне 50Х-150Х

Квазикельвиновские зонды – 2 шт.
Рабочий диапазон температур, оС От -65 до +150
Напряжение пробоя, В 500
Материал наконечника Вольфрам
Радиус наконечника иглы, мкм 0,5
Разъёмы на зонде SSMC

Функции: Измерение вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик микро- и нано структур.
Работы: проведение измерений вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик в непрерывном или импульсном режиме на пластине.
Отв. Лицо: Гойхман Александр Юрьевич, email: AGoikhman@kantiana.ru
Инв. П340003676.88850.4а