Технические характеристики:

• для лазерной абляции используется твердотельные Nd:Yag лазеры, работающие на 4 гармониках: 266 нм, 355 нм, 532 нм, 1064 нм.
• осаждение при различных температурах до 800 градусов Цельсия.
• осаждение в атмосфере различных рабочих газов или их смеси
• осаждение в вакууме до 10^-11Torr
• прецизионный контроль толщины пленки с точностью до 0,01 ангстрема
• со-осаждение материалов и получение многокомпонентных структур посредством использования дополнительного лазера или магнетронного распыления (MS).

Функции: Предназначена для проведения общенаучных экспериментов по нанесению покрытий. Импульсно лазерное осаждение (PLD) - технология по созданию тонких пленок (с контролируемыми толщинами от 1 ангстерма до сотен нанометров) посредством распыления материала мишени мощным сфокусированным лазерным импульсом внутри вакуумной камеры. Рост тонких пленок происходит в камере (вакуум до 10-11 Торр) при помощи двух Nd:YAG лазеров (Nd:YAG лазер LS-2137U) и (Nd:YAG лазер LS-2136).

Методы: Импульсно лазерное осаждение

Перечень работ: Нанесение тонких пленок методом импульсно-лазерного осаждения.

Отв. Лицо: Гойхман Александр Юрьевич, email: AGoikhman@kantiana.ru