Установка ионно-плазменного напыления
Производитель: FieldMax, Вайсбейн, РФ
Год выпуска: 2008
Функции: Синтез тонкопленочных слоев, в том числе и наноструктурированных материалов, в частности, с помощью применения методики поочередного осаждения нанослоев различных материалов при различных параметрах синтеза.
Методики: Методика ионно-плазменного осаждения
Перечень работ: - получение простых и сложных тонких пленок для разных задач, таких как:
- отражающие элементы для синхротронных, рентгеновских и лазерных исследований,
- укрепляющие покрытия,
- проводящие и не проводящие покрытия для наноэлектроники,
- биосовместимые покрытия,
- тонкие пленки различных материалов на сложных поверхностях.
Отв. Лицо: Гойхман Александр Юрьевич, email:
AGoikhman@kantiana.ru