Центрифуга для нанесения фоторезиста/проявления
Модель: SPIN-1200T
Производитель: MIDas System, КНДР
Год выпуска: 2015
Технические характеристики:
Размер подложки от 5х5 мм до 100 мм (до 150 мм - опция)
Скорость вращения от 300 до 10000 об/мин +/-1% для не загруженного держателя
Ускорение Ускорение и скорость задается оператором
Управление Цветной touch screen дисплей, 20 рецептов, 50 шагов
Размер барабана 8 дюймов, материал Ацеталь
Мотор DC сервомотор
Корпус Нержавеющая сталь
Вакуумный прижим Анодированный алюминий
Электропитание 220 В, 50 Гц.
Размеры 230 х 340 х 260 мм.
Функции: Предназначена для нанесения различных жидких материалов на планарные (плоские) подложки. Толщины наносимых слоев от 1000 А до 100 мкм в зависимости вязкости материала, скорости вращения и времени нанесения.