Двулучевая электронно-ионная система сверхвысокого разрешения
Модель: Cross Beam XB 540
Производитель: Carl Zeiss, Германия
Год выпуска: 2015

Функции: Предназначен для микро- и наномодификации различных материалов. Исследование на микро- и наноструктур с высокой точность позиционирования и устойчивой системой зондирования. Реализуемые методы:-3D прототипирование – нанотомография -ионная и электронная литография- сканирующая зондовая микроскопия- электрические измерения.