Технические характеристики:

• точность 0,1 нм в вертикальном направлении, 0,2 микрона в горизонтальном направлении
• диапазон сканирования 270 мкм
• удобный и простой интерфейс
• быстрота измерений
• бесконтактное измерение исключает повреждение поверхности образца
• высокая воспроизводимость результатов измерений
• вывод изображения в 2D и 3D формате
• возможность «сшивания» нескольких изображений

Функции: Бесконтактные 3D измерения поверхности способом сканирующей интерферометрии белого света.

Быстрый бесконтактный 3D профилометр для любых типов поверхностей. Производитель NanoSystem проектирует системы для университетов, для исследований и разработок, университетов, а также для контроля технологических процессов. NanoSystem разрабатывает аппаратные и программные решения на основе запатентованных алгоритмах и интерферометров белого света. Запатентованные методы фазового сдвига и сканирующей интерферометрии белого света (WSI/PSI) позволяют измерять широкий спектр поверхностей материалов и их параметров, включая 2D и 3D профилирование поверхности с высоким пространственным разрешением (0,1 нм – вертикальное и 1,36 мкм – латеральное разрешение).

Перечень применяемых методик измерений: 2D и 3D профилирование поверхности с высоким пространственным разрешением